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Q. 세메스 식각 장비 및 공정에 대해 여쭈어보고 싶습니다.

1. 작년 10월에 양산개발한 퓨리타스가 건식식각 장비라고 소개되어있는데, 장비 설명을 읽어보면 리모트 플라즈마를 사용하여 식각을 하는 것처럼 느껴집니다. 그래서 퓨리타스가 건식 식각 장비로도 분류 될 수 있는지 궁금합니다. 2. 식각공정 중에 낸드의 채널 홀 에칭 공정 등 high aspect ratio가 필요한 공정에서 극저온 식각 장비의 수요증가로 tel과 램리서치가 생산하는 것으로 알고 있습니다. 현재 세메스 중 건식 식각 장비는 아직 극저온 기술을 도입하지 않은 상태인지 궁금합니다.